标准编号:	GB/T 13388-1992
中文名称:	硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
英文名称:	Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
中标分类:	H21    金属物理性能试验方法
行业分类:	GB    国家标准
发布机构:	国家技术监督局
发布日期:	1992-02-19
实施日期:	1992-10-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
被替代日期:	2010-6-1
翻译语言:	英文

本标准规定了用Ｘ射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为50～125mm，参考面长度为10～50mm。本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3°的硅片的测量。