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GB/T 26111-2023   微机电系统（MEMS）技术 术语 (英文)
标准编号: GB/T 26111-2023 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 文件格式:PDF
标准编号: GB/T 26111-2023
中文名称: 微机电系统（MEMS）技术 术语
英文名称: Micro-electromechanical system technology—Terms
中标分类: L59    微型组件
行业分类: GB    国家标准
ICS分类: 31.080.99 31.080.99    其他半导体器件 31.080.99
发布机构: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期: 2023-05-23
实施日期: 2023-9-1
标准状态: valid
替代旧标准:GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术　术语
翻译语言: 英文
文件格式: PDF
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