标准编号:	T/ICMTIA SM0027-2022
中文名称:	先进存储工艺用300mmp-型硅单晶抛光片
行业分类:	T/    团体标准
发布机构:	中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期:	2022-05-10
实施日期:	2022-5-31
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

本文件规定了直径300mm、p-型、{100}晶向规格的硅抛光片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、和质量证明书。
本文件适用于先进存储工艺：DRAM、3DNAND、NOR用300mmp-型硅抛光片。