标准编号:	T/ICMTIA ESG0039-2024
中文名称:	集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称:	Test method for measurement of impurity concentrations in titanium tetrachloride for integrated circuit by Inductively coupled-plasma Mass Spectrometry
行业分类:	T/    团体标准
发布机构:	中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期:	2024-04-30
实施日期:	2024-6-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

本文件规定了四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。
本文件适用于四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素含量的测定。各元素的测定范围0.1ng/g～50ng/g。