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SJ/T 12023-2025   半导体设备 集成电路制造用化学气相淀积(CVD)设备测试方法 (英文版)
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标准编号: SJ/T 12023-2025
中文名称: 半导体设备 集成电路制造用化学气相淀积(CVD)设备测试方法
英文名称: Semi conductor equipment — Test method of chemical vapor deposition (CVD) equipment for integrated circuit (IC) manufacturing
行业分类: SJ    电子行业标准
发布日期: 2025-05-12
标准状态: valid
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