SJ/T 11493-2015 英文版, SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法 - SJ/T 11493-2015, SJ 11493-2015, SJT 11493-2015, SJ/T11493-2015, SJ/T 11493, SJ/T11493, SJ11493-2015, SJ 11493, SJ11493, SJT11493-2015, SJT 11493, SJT11493

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SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法 (英文)
标准编号:	SJ/T 11493-2015	标准状态:	abolished 订阅状态变动提醒电子邮箱:
翻译语言:	英文	实施日期:	2015-10-1

标准编号:	SJ/T 11493-2015
中文名称:	硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
英文名称:	Test method for measuring nitrogen concentration in silicon substrates by secondary ion mass spectrometry
行业分类:	SJ 电子行业标准
发布机构:	中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:	2015-04-30
实施日期:	2015-10-1
标准状态:	abolished
作废日期:	2024-07-11
翻译语言:	英文

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