SJ/T 10478-1994 英文版, SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件 - SJ/T 10478-1994, SJ 10478-1994, SJT 10478-1994, SJ/T10478-1994, SJ/T 10478, SJ/T10478, SJ10478-1994, SJ 10478, SJ10478, SJT10478-1994, SJT 10478, SJT10478

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SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件 (英文)
标准编号:	SJ/T 10478-1994	标准状态:	valid 订阅状态变动提醒电子邮箱:
翻译语言:	英文	实施日期:	1994-10-1

标准编号:	SJ/T 10478-1994
中文名称:	磁控溅射设备通用技术条件
英文名称:	General specification for magnetic sputtering equipment
中标分类:	C01 技术管理
行业分类:	SJ 电子行业标准
发布机构:	中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:	1994-04-11
实施日期:	1994-10-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

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