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SJ 20636-1997   IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法 (英文)
标准编号: SJ 20636-1997 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 实施日期:1997-10-1
标准编号: SJ 20636-1997
中文名称: IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法
英文名称: Test method for oxygen and carbon contents of large diameter thin silicon wafer in microzone for use in IC
中标分类: L5971    
行业分类: SJ    电子行业标准
发布机构: 中华人民共和国国家经济贸易委员会
发布日期: 1997-06-17
实施日期: 1997-10-1
标准状态: valid
翻译语言: 英文
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