标准编号:	GB/T 29506-2013
中文名称:	300mm 硅单晶抛光片
英文名称:	300 mm polished monocrystalline silicon wafers
中标分类:	H82    元素半导体材料
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	29.045 29.045    半导体材料 29.045
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2013-5-9
实施日期:	2014-2-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于直径300mm 直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm 技术需求的衬底片。