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T/ICMTIA 1-2019   集成电路材料产业技术创新联盟 气体基础规范 (英文版)
标准编号: T/ICMTIA 1-2019 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
译文语言:英文 文件格式:PDF
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实施日期:2019-10-10 交付时间:
标准编号: T/ICMTIA 1-2019
中文名称: 集成电路材料产业技术创新联盟 气体基础规范
英文名称: The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification
中标分类: G04    基础标准与通用方法
行业分类: T/    团体标准
ICS分类: 71.100.20 71.100.20    工业气体 71.100.20
发布机构: 中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期: 2019-04-17
实施日期: 2019-10-10
标准状态: valid
翻译语言: 英文
文件格式: PDF
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