标准编号:	T/CASME 1953-2025
中文名称:	半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
英文名称:	Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment
中标分类:	G43    橡胶密封件
行业分类:	T/    团体标准
ICS分类:	83.140.50 83.140.50    密封件 83.140.50
发布机构:	中国中小商业企业协会
发布日期:	2025-03-21
实施日期:	2025-4-21
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。
本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。