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GB/T 41064-2021   表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法 (英文)
标准编号: GB/T 41064-2021 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 实施日期:2022-7-1
标准编号: GB/T 41064-2021
中文名称: 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
英文名称: Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films
中标分类: G04    基础标准与通用方法
行业分类: GB    国家标准
ICS分类: 71.040.40 71.040.40    化学分析 71.040.40
发布机构: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期: 2021-12-31
实施日期: 2022-7-1
标准状态: valid
翻译语言: 英文
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