标准编号:	GB/T 21287-2007
中文名称:	电子工业用气体三氟化氮
英文名称:	Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
中标分类:	G86    工业气体与化学气体
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	71.100.20 71.100.20    工业气体 71.100.20
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2007-12-14
实施日期:	2008-7-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
被替代日期:	2022-5-1
翻译语言:	英文

本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。