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GB/T 15862-2012   离子注入机通用规范 (英文)
标准编号: GB/T 15862-2012 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 实施日期:2013-2-15
标准编号: GB/T 15862-2012
中文名称: 离子注入机通用规范
英文名称: General specification of ion implantation equipment
中标分类: L97    加工专用设备
行业分类: GB    国家标准
发布机构: 国家标准化委员会 国家质量监督检验检疫总局
发布日期: 2012-11-5
实施日期: 2013-2-15
标准状态: valid
替代旧标准:GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
翻译语言: 英文
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