标准编号:	DB32/T 4378-2022
中文名称:	衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
英文名称:	Nano,sub-micron scale film on substrate-Non-destructive test method of sheet resistance-Four probe method
中标分类:	B61    种子、苗水、苗圃
行业分类:	DB    地方标准
ICS分类:	65.020.40 65.020.40    绿化和造林 65.020.40
发布机构:	江苏省市场监督管理局
发布日期:	2022-10-23
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。
本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定，方块电阻测试范围为1×10-4Ω~1×104Ω。