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YS/T 15-1991   硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 (英文版)
标准编号: YS/T 15-1991 标准状态:superseded 订阅状态变动提醒
译文语言:英文 文件格式:PDF
中文字符数: 6000 字 翻译价格(元):500.0 订阅价格变动提醒
实施日期:1992-6-1 交付时间: 付款后 1~3 个工作日
标准编号: YS/T 15-1991
中文名称: 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
英文名称: Thcikness determination for silicon epitaxial layer and difussion layer - Angle lap-stain method
中标分类: H82    元素半导体材料
行业分类: YS    有色金属行业标准
ICS分类: 29.045 29.045    半导体材料 29.045
实施日期: 1992-6-1
标准状态: superseded
被新标准替代:YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
被替代日期:2015-10-1
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