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YS/T 14-1991   异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 (英文)
标准编号: YS/T 14-1991 标准状态:superseded 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 实施日期:1992-6-1
标准编号: YS/T 14-1991
中文名称: 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
英文名称: Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
中标分类: H82    元素半导体材料
行业分类: YS    有色金属行业标准
发布日期: 1991-04-26
实施日期: 1992-6-1
标准状态: superseded
被新标准替代:YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
被替代日期:2015-10-1
翻译语言: 英文
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