T/ICMTIA ESG0034-2023 英文版, T/ICMTIA ESG0034-2023 集成电路用混合气体氟/氮 - T/ICMTIA ESG0034-2023, T/ICMTIAT ESG0034-2023, TICMTIAT ESG0034-2023, T/ICMTIAESG0034-2023, T/ICMTIA ESG0034, T/ICMTIAESG0034, T/ICMTIATESG0034-2023, T/ICMTIAT ESG0034, T/ICMTIATESG0034, TICMTIATESG0034-2023, TICMTIAT ESG0034, TICMTIATESG0034

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T/ICMTIA ESG0034-2023 集成电路用混合气体氟/氮 (英文)
标准编号:	T/ICMTIA ESG0034-2023	标准状态:	valid 订阅状态变动提醒电子邮箱:
翻译语言:	英文	实施日期:	2023-4-1

标准编号:	T/ICMTIA ESG0034-2023
中文名称:	集成电路用混合气体氟/氮
行业分类:	T/ 团体标准
ICS分类:	71.100.20 71.100.20 工业气体 71.100.20
发布机构:	中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期:	2023-03-01
实施日期:	2023-4-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

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