标准编号:	T/ICMTIA 4.1-2020
中文名称:	集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
英文名称:	ArF photoresist monomer for integrated circuits Part 1: Liquid methacrylate
中标分类:	G30    合成材料综合
行业分类:	T/    团体标准
ICS分类:	29.045 29.045    半导体材料 29.045
发布机构:	中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期:	2020-12-31
实施日期:	2021-3-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分 液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。
本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。