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T/IAWBS 002-2017   碳化硅外延片表面缺陷测试方法 (英文)
标准编号: T/IAWBS 002-2017 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 实施日期:2017-12-31
标准编号: T/IAWBS 002-2017
中文名称: 碳化硅外延片表面缺陷测试方法
行业分类: T/    团体标准
发布机构: 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期: 2017-12-20
实施日期: 2017-12-31
标准状态: valid
翻译语言: 英文
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