标准编号:	T/CEMIA 006-2018
中文名称:	膜厚监控用石英晶振片
行业分类:	T/    团体标准
ICS分类:	31.140 31.140    压电器件和介质器件 31.140
发布日期:	2018-12-14
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

　　本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。
　　
　　本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控用石英晶振片。