标准编号:	GB/T 42274-2022
中文名称:	氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
英文名称:	Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
中标分类:	H17    半金属及半导体材料分析方法
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	77.040 77.040    金属材料试验 77.040
发布机构:	国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:	2022-12-30
实施日期:	2023-4-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
翻译字数:	11000 字
交付时间:	1~3 个工作日

本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016 cm-3，元素含量（原子个数百分比）不大于1%。
注：氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计。