GB/T 39145-2020 英文版, GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 - GB/T 39145-2020, GB 39145-2020, GBT 39145-2020, GB/T39145-2020, GB/T 39145, GB/T39145, GB39145-2020, GB 39145, GB39145, GBT39145-2020, GBT 39145, GBT39145

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GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 (英文)
标准编号:	GB/T 39145-2020	标准状态:	valid 订阅状态变动提醒电子邮箱:
翻译语言:	英文	实施日期:	2021-9-1

标准编号:	GB/T 39145-2020
中文名称:	硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
英文名称:	Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
中标分类:	H17 半金属及半导体材料分析方法
行业分类:	GB 国家标准
ICS分类:	77.040 77.040 金属材料试验 77.040
发布机构:	国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
发布日期:	2020-10-11
实施日期:	2021-9-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文

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