标准编号:	GB/T 14139-2009
中文名称:	硅外延片
英文名称:	Silicon epitaxial wafers
中标分类:	H80    半金属与半导体材料综合
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	29.045 29.045    半导体材料 29.045
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2009-10-30
实施日期:	2010-6-1
标准状态:	abolished
被新标准替代:	GB/T 14139-2019 硅外延片
被替代日期:	2020-5-1
作废日期:	2020-05-01
替代旧标准:	GB/T 14139-1993 硅外延片
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
翻译字数:	10000 字
交付时间:	1~3 个工作日

本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。
本标准适用于在Ｎ 型硅抛光片衬底上生长的ｎ型外延层（Ｎ／Ｎ＋ ）和在ｐ型硅抛光片衬底上生长的Ｐ型外延层（Ｐ／Ｐ＋ ）的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。