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YS/T 23-2016   硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 (英文)
标准编号: YS/T 23-2016 标准状态:valid 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 文件格式:PDF
标准编号: YS/T 23-2016
中文名称: 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
英文名称: Test method for thickness of epitaxial layers-Stacking fault size
行业分类: YS    有色金属行业标准
发布机构: 中华人民共和国工业和信息化部
发布日期: 2016-04-05
实施日期: 2016-9-1
标准状态: valid
替代旧标准:YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
翻译语言: 英文
文件格式: PDF
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