标准编号:	SJ/T 10583-1994
中文名称:	气体质量流量控制器通用技术条件
英文名称:	General specification for gas mass flow controller
中标分类:	L98    检验装用设备
行业分类:	SJ    电子行业标准
发布机构:	中华人民共和国电子工业部
发布日期:	1994-08-08
实施日期:	1994-12-1
标准状态:	superseded
被新标准替代:	SJ/T 10583-2016 气体质量流量控制器通用技术条件
被替代日期:	2016-9-1
作废日期:	2016-09-01
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器（以下简称控制器）。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。