标准编号:	GB/T 42106-2022
中文名称:	纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
英文名称:	Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
中标分类:	A42    物理学与力学
行业分类:	GB    国家标准
ICS分类:	07.030 07.030    物理学、化学 07.030
发布机构:	国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:	2022-12-30
实施日期:	2023-7-1
标准状态:	valid
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	9000 字
翻译价格(元):	630.0
交付时间:	付款后 1~3 个工作日

本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、　材料与设备、环境条件、加工方法。
本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。