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GB/T 34504-2017   蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法 (英文)
标准编号: GB/T 34504-2017 标准状态:superseded 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 文件格式:PDF
标准编号: GB/T 34504-2017
中文名称: 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
英文名称: Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
行业分类: GB    国家标准
发布机构: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期: 2017-10-14
实施日期: 2018-5-1
标准状态: superseded
被新标准替代:GB/T 24578-2024 半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法
被替代日期:2025-2-1
翻译语言: 英文
文件格式: PDF
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