标准编号:	GB/T 23414-2009
中文名称:	微束分析 扫描电子显微术 术语
英文名称:	Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary
中标分类:	N33    电子光学与其他物理光学仪器
行业分类:	GB    国家标准
发布机构:	国家标准委
发布日期:	2009-04-01
实施日期:	2009-12-1
标准状态:	to be superseded
被新标准替代:	GB/T 23414-2026 微束分析 扫描电子显微术 术语
被替代日期:	2026-8-1
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF

本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO23833中定义的术语。
本标准适用于所有有关SEM 实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。