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GB 6616-1986   硅片电阻率的非接触式测试方法 (英文)
标准编号: GB 6616-1986 标准状态:superseded 订阅状态变动提醒
翻译语言:英文 实施日期:1987-7-1
标准编号: GB 6616-1986
中文名称: 硅片电阻率的非接触式测试方法
英文名称: Standard method for measuring resistivity of silicon slices by noncontacting technique
中标分类: H22    金属力学性能试验方法
行业分类: GB    国家标准
实施日期: 1987-7-1
标准状态: superseded
被新标准替代:GB/T 6616-1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法
被替代日期:1995-1-2
翻译语言: 英文
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