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标准编号	标准名称	交付时间	标准状态
GB/T 41213-2021	集成电路用全自动装片机	1~3 个工作日	valid,,2022-7-1
GB/T 40577-2021	集成电路制造设备术语	1~5 个工作日	valid,,2022-5-1
SB/T 10739-2012	商用洗地机技术规范	1~3 个工作日	valid,,2012-11-1
GB/T 29845-2013	半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则	1~3 个工作日	valid,,2014-4-15
GB/T 16524-1996	光掩模对准标记规范	1~3 个工作日	valid,,1997-5-1
GB/T 30116-2013	半导体生产设施电磁兼容性要求	1~3 个工作日	valid,,2014-4-15
SB/T 10740-2012	商用吸尘吸水机技术规范	1~3 个工作日	valid,,2012-11-1
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